Title of article :
Mode I and mixed mode fracture of polysilicon for MEMS
Author/Authors :
S. W. Cho، نويسنده , , K. JONNALAGADDA، نويسنده , , I. CHASIOTIS، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2007
Keywords :
AFM , digital image correlation , fracture. Toughness , Crack growth
Journal title :
Fatigue and Fracture of Engineering Materials and Structures
Journal title :
Fatigue and Fracture of Engineering Materials and Structures