Title of article :
Numerical analysis of theoretical model of the RF MEMS switches
Author/Authors :
Zhang Lixian، نويسنده , , Yu Tongxi ، نويسنده , , Zhao Yapu
، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2004
Keywords :
RF MEMS , axial stretching , Residual stress , fringing field , critical pull-in voltage
Journal title :
Acta Mechanica Sinica
Journal title :
Acta Mechanica Sinica
