Title of article
Application des réseaux de neurones à la modélisation des réacteurs de LPCVD: dépôt de silicium dopé in situ au bore
Author/Authors
K. Fakhr-Eddine، نويسنده , , M. Cabassud، نويسنده , , M. V. Lann، نويسنده , , J. P. Couderc، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 1999
Pages
12
From page
171
To page
182
Keywords
Semi-conducteur , ReAacteurs , LPCVD
Journal title
Chemical Engineering Journal
Serial Year
1999
Journal title
Chemical Engineering Journal
Record number
365055
Link To Document