A Frequency Selective Silicon Vibration Sensor with Direct Electrostatic Stiffness Modulation

Dirk Scheibner، نويسنده , , Jürgen Wibbeler، نويسنده , , Jan Mehner، نويسنده , , Birgit Br?mer، نويسنده , , Thomas Gessner and Wolfram D?tzel ، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2003

9

35

43

Vibration , frequency tuning , SCREAM , Array , resonant

Analog Integrated Circuits and Signal Processing

2003

Analog Integrated Circuits and Signal Processing

367379