Experimental Determination of Micromachined Discrete and Continuous Device Spring Constants Using Nanoindentation Method

M.L. Chan، نويسنده , , Francis E.H. Tay، نويسنده , , V.J. Logeeswaran، نويسنده , , K.Y. Zeng، نويسنده , , Lu Shen and F.S. Chau ، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2003

12

45

56

Cantilever , Nanoindentation , Bending test , spring constant , microgyroscope

Analog Integrated Circuits and Signal Processing

2003

Analog Integrated Circuits and Signal Processing

367380