Title of article :
A New Approach of Lateral RF MEMS Switch
Author/Authors :
M. Tang، نويسنده , , A.Q. Liu، نويسنده , , A. Agarwal، نويسنده , , Q.X. Zhang and P. Win ، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2004
Keywords :
RF MEMS , RF switch , microwave and wireless communication , DRIE
Journal title :
Analog Integrated Circuits and Signal Processing
Journal title :
Analog Integrated Circuits and Signal Processing