• Title of article

    A New Approach of Lateral RF MEMS Switch

  • Author/Authors

    M. Tang، نويسنده , , A.Q. Liu، نويسنده , , A. Agarwal، نويسنده , , Q.X. Zhang and P. Win ، نويسنده ,

  • Issue Information
    روزنامه با شماره پیاپی سال 2004
  • Pages
    9
  • From page
    165
  • To page
    173
  • Keywords
    RF MEMS , RF switch , microwave and wireless communication , DRIE
  • Journal title
    Analog Integrated Circuits and Signal Processing
  • Serial Year
    2004
  • Journal title
    Analog Integrated Circuits and Signal Processing
  • Record number

    367433