مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - Optimization of lithographic masks using genetic algorithms

Title of article :

Optimization of lithographic masks using genetic algorithms

Author/Authors :

U. Triltsch، نويسنده , , A. Phataralaoha، نويسنده , , M. I. Kilani and S. Buttgenbach ، نويسنده , , D. Straube and H. -J. Franke ، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 2006

Pages :

From page :

To page :

Keywords :

Genetic algorithms . Lithography . Anisotropicetching . Bulk-micro-machining . Tactile sensor

Journal title :

Analog Integrated Circuits and Signal Processing

Serial Year :

2006

Journal title :

Analog Integrated Circuits and Signal Processing

Record number :

367676

Link To Document :