Title of article :
Monolithic RD MEMS inductor using silicon MEMS foundry process
Author/Authors :
Li، نويسنده , , L.; Uttamchandani، نويسنده , , D.، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2006
Pages :
4
From page :
5
To page :
8
Journal title :
Micro and Nano Letters
Serial Year :
2006
Journal title :
Micro and Nano Letters
Record number :
375583
Link To Document :
https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=10&DC=375583
