Title of article
Monolithic RD MEMS inductor using silicon MEMS foundry process
Author/Authors
Li، نويسنده , , L.; Uttamchandani، نويسنده , , D.، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2006
Pages
4
From page
5
To page
8
Journal title
Micro and Nano Letters
Serial Year
2006
Journal title
Micro and Nano Letters
Record number
375583
Link To Document