Resonant Auger electron spectroscopy for analysis of the chemical state of phosphorus segregated at SiO2/Si interfaces
Author/Authors :
M. Oshima، نويسنده , , and Y. Yoshimura، نويسنده , , K. Ono، نويسنده , , H. Fujioka، نويسنده , , Y. Sato، نويسنده , , Y. Baba، نويسنده , , K. Yoshii and T.A. Sasaki، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 1998
Pages :
5
From page :
603
To page :
607
Keywords :
Phosphorus , SiOJSi interfaces , Auger electron spectroscopy
Journal title :
JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY & RELATED PHENOMENA
Serial Year :
1998
Journal title :
JOURNAL OF ELECTRON SPECTROSCOPY & RELATED PHENOMENA
