Fundamental study of an electrostatic chuck for silicon wafer handling

Asano، نويسنده , , K.، نويسنده , , Hatakeyama، نويسنده , , F.، نويسنده , , K.  Yatsuzuka، نويسنده , , K.، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2002

6

840

845

Dielectric thin film , electrostatic chuck , electrostaticforce , holding system for silicon wafer , interdigitated electrodessystem.

IEEE Transactions on Industry Applications

2002

IEEE Transactions on Industry Applications

381430