Title of article :
Advances in Precise Positioning Using the Electrostatic Glass Motor
Author/Authors :
Roland Moser، نويسنده , , Laurent Sache، نويسنده , , Alain Cassat، نويسنده , , Toshiro Higuchi، نويسنده , , and Hannes Bleuler، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2005
Keywords :
Electrostatic induction , linear nanometric positioning , Electrostatic glass motors , rotary sub-arc-second positioning.
Journal title :
IEEE Transactions on Industry Applications
Journal title :
IEEE Transactions on Industry Applications
