• Title of article

    Curve evolution models for real-time identification with application to plasma etching

  • Author/Authors

    Berg، نويسنده , , J.، نويسنده , , Anthony Yezzi، نويسنده , , A.، نويسنده , , Tannenbaum، نويسنده , , A. ، نويسنده ,

  • Issue Information
    روزنامه با شماره پیاپی سال 1999
  • Pages
    4
  • From page
    99
  • To page
    102
  • Keywords
    level set methods , parameter estimation , Process modeling , semiconductor manufacturing. , Curve evolution , plasma etching
  • Journal title
    IEEE Transactions on Automatic Control
  • Serial Year
    1999
  • Journal title
    IEEE Transactions on Automatic Control
  • Record number

    385088

    • Link To Document
    https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=10&DC=385088