Study on the applications of SiC thin films to MEMS techniques through a fabrication process of cantilevers

J.-S. Hyun، نويسنده , , J.-H. Park، نويسنده , , J.-S. Moon، نويسنده , , J.H. Park، نويسنده , , S.H. Kim، نويسنده , , Y.J. Choi، نويسنده , , N.-E. Lee and J.-H. Boo، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2005

7

309

315

Progress in Solid State Chemistry

2005

Progress in Solid State Chemistry

391080