Title of article :
Indirect adaptive control of reactive ion etching using neural networks
Author/Authors :
Stokes، نويسنده , , D.، نويسنده , , May، نويسنده , , G.S.، نويسنده ,
Issue Information :
دوماهنامه با شماره پیاپی سال 2001
Keywords :
Reactive ion etching , NEURAL NETWORKS , real-time control.
Journal title :
I E E E Transactions on Robotics and Automation
Journal title :
I E E E Transactions on Robotics and Automation
