• Title of article

    Transfer of single crystalline silicon nanolayer onto alien substrate

  • Author/Authors

    Usenko، نويسنده , , A.Y.، نويسنده , , Carr، نويسنده , , W.N.، نويسنده , , Bo Chen، نويسنده ,

  • Issue Information
    روزنامه با شماره پیاپی سال 2004
  • Pages
    5
  • From page
    225
  • To page
    229
  • Keywords
    Hydrogen , implantation , Platelets , Silicon , silicon-on-insulator (SOI). , Plasma
  • Journal title
    IEEE Transactions on Nanotechnology
  • Serial Year
    2004
  • Journal title
    IEEE Transactions on Nanotechnology
  • Record number

    398411