Author/Authors :
Tibuzzi، نويسنده , , A.، نويسنده , , Benno Margesin، نويسنده , , B.، نويسنده , , Decarli، نويسنده , , M.، نويسنده , , Di Natale، نويسنده , , C.، نويسنده , , Zen، نويسنده , , M.، نويسنده , , DʹAmico، نويسنده , , A.، نويسنده , , Soncini، نويسنده , , G.، نويسنده ,
Keywords :
Micromachining , Hydrogen , MOS junction , nanowires , oxidation.