Nanoscale impedance microscopy-a characterization tool for nanoelectronic devices and circuits

Suzanne Pingree، نويسنده , , L.S.C.، نويسنده , , Martin، نويسنده , , E.F.، نويسنده , , Shull، نويسنده , , K.R.، نويسنده , , Hersam، نويسنده , , M.C.، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2005

5

255

259

conductiveatomic force microscopy (cAFM) , Failure analysis , Defect detection , Integrated circuits , Impedance spectroscopy , Nanoelectronics , nanoscale impedance microscopy (NIM). , Atomic force microscopy (AFM)

IEEE Transactions on Nanotechnology

2005

IEEE Transactions on Nanotechnology

398484