Title of article :
Systematic electrical characteristics of ideal rectangular cross section Si-Fin channel double-gate MOSFETs fabricated by a wet process
Author/Authors :
Yongxun Liu، نويسنده , , Ishii، نويسنده , , K.، نويسنده , , Tsutsumi، نويسنده , , T.، نويسنده , , Masahara، نويسنده , , M.، نويسنده , , Takashi Oguro and Kouei Sekigawa، نويسنده , , T.، نويسنده , , Sakamoto، نويسنده , , K.، نويسنده , , Takashima، نويسنده , , H.، نويسنده , , Yamauchi، نويسنده , , H.، نويسنده , , Suzuki، نويسنده , , E.، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2003
Pages :
7
From page :
198
To page :
204
Keywords :
(110)-oriented SOI. , short-channel effects , Double-gate MOSFET , finFET , XMOS , Fin-typedouble-gate MOSFET (FXMOSFET) , orientation-dependentetching
Journal title :
IEEE Transactions on Nanotechnology
Serial Year :
2003
Journal title :
IEEE Transactions on Nanotechnology
Record number :
398590
Link To Document :
بازگشت