مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - Transfer of single crystalline silicon nanolayer onto alien substrate

Title of article :

Transfer of single crystalline silicon nanolayer onto alien substrate

Author/Authors :

Usenko، نويسنده , , A.Y.، نويسنده , , Carr، نويسنده , , W.N.، نويسنده , , Bo Chen، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 2004

Pages :

From page :

225

To page :

229

Keywords :

implantation , Platelets , Silicon , silicon-on-insulator (SOI). , Plasma , Hydrogen

Journal title :

IEEE Transactions on Nanotechnology

Serial Year :

2004

Journal title :

IEEE Transactions on Nanotechnology

Record number :

398652

Link To Document :