Modeling and experimental validation of sharpening mechanism based on thermal oxidation for fabrication of ultra-sharp silicon nanotips

Agache، نويسنده , , V.، نويسنده , , Ringot، نويسنده , , R.، نويسنده , , Joao F. Bigotte ، نويسنده , , P.، نويسنده , , Senez، نويسنده , , V.، نويسنده , , Legrand، نويسنده , , B.، نويسنده , , Buchaillot، نويسنده , , L.، نويسنده , , Collard، نويسنده , , D.، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2005

9

548

556

Dry oxidation , sharpening effect , silicon tips , stress effects , thermal oxidation.

IEEE Transactions on Nanotechnology

2005

IEEE Transactions on Nanotechnology

398768