Nanopatterning with interferometric lithography using a compact /spl lambda/=46.9-nm laser

Capeluto، نويسنده , , M.G.، نويسنده , , Vaschenko، نويسنده , , G.، نويسنده , , Grisham، نويسنده , , M.، نويسنده , , Marconi، نويسنده , , M.C.، نويسنده , , Luduena، نويسنده , , S.، نويسنده , , Pietrasanta، L. نويسنده , , L.، نويسنده , , Yunfeng Lu، نويسنده , , Parkinson، نويسنده , , B.، نويسنده , , Menoni، نويسنده , , C.S.، نويسنده , , Rocca، نويسنده , , J.J.، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2006

5

3

7

Photolithography , NANOTECHNOLOGY , X-ray lasers , X-ray lithography.

IEEE Transactions on Nanotechnology

2006

IEEE Transactions on Nanotechnology

398796