مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - Metallization on Semiconductors in the Single Digit Nanometer Regime

Title of article :

Metallization on Semiconductors in the Single Digit Nanometer Regime

Author/Authors :

Chang، نويسنده , , C.-C.، نويسنده , , Lung، نويسنده , , C.-H.، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 2006

Pages :

From page :

459

To page :

465

Keywords :

Chemical vapor deposition (CVD) , semiconductor-metal enterfaces , Metallization , X-ray spectroscopy. , Bonding

Journal title :

IEEE Transactions on Nanotechnology

Serial Year :

2006

Journal title :

IEEE Transactions on Nanotechnology

Record number :

398864

Link To Document :