Selective Solid-Phase Silicon Epitaxy of ${hbox{p}}^{+}$ Aluminum-Doped Contacts for Nanoscale Devices

Civale، نويسنده , , Y.، نويسنده , , Nanver، نويسنده , , L.K.، نويسنده , , Francois G. Schellevis، نويسنده , , H.، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2007

5

196

200

selective epitaxial growth , p-n-p bipolar junction transistors , low-temperature processing , metal-induced crystallization , elevated source/drain , low-ohmic contacts , solidphaseepitaxy , ultrashallow junctions. , Al-doping

IEEE Transactions on Nanotechnology

2007

IEEE Transactions on Nanotechnology

398929