• Title of article

    A Nanodamascene Process for Advanced Single-Electron Transistor Fabrication

  • Author/Authors

    Dubuc، نويسنده , , C.، نويسنده , , Beauvais، نويسنده , , J.، نويسنده , , Drouin، نويسنده , , D.، نويسنده ,

  • Issue Information
    روزنامه با شماره پیاپی سال 2008
  • Pages
    6
  • From page
    68
  • To page
    73
  • Keywords
    Chemical mechanical polishing (CMP) , single-electrontransistor (SET). , nanodevice characterization , electronbeam lithography (EBL)
  • Journal title
    IEEE Transactions on Nanotechnology
  • Serial Year
    2008
  • Journal title
    IEEE Transactions on Nanotechnology
  • Record number

    399017

    • Link To Document
    https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=10&DC=399017