Measurement of particle nucleation and growth in low pressure chemical vapor deposition systems with the particle beam mass spectrometer

P. J. Ziemann، نويسنده , , P. Liu، نويسنده , , S. Nijhawan، نويسنده , , D. B. Kittelson، نويسنده , , P. H. McMurry and S. L. Girshick، نويسنده , , S. A. Campbell، نويسنده ,

ماهنامه با شماره پیاپی سال 1995

2

633

634

particle beam mass spectrometer , LPCVD , silane , Nucleation , low pressure chemical vapor deposition , PBMS

Journal of Aerosol Science

1995

Journal of Aerosol Science

733383