مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - Turbulent transport of submicron particles onto a free-standing wafer at low Reynolds number flows

Title of article :

Turbulent transport of submicron particles onto a free-standing wafer at low Reynolds number flows

Author/Authors :

K. Gartz، نويسنده , , F. Schmidt، نويسنده , , H. Fissan، نويسنده ,

Issue Information :

ماهنامه با شماره پیاپی سال 1995

Pages :

From page :

697

To page :

698

Keywords :

microcontamination , turbulence. particle deposition , free- standing wafer

Journal title :

Journal of Aerosol Science

Serial Year :

1995

Journal title :

Journal of Aerosol Science

Record number :

733415

Link To Document :