Title of article
CFC-12 Decomposition in a RF plasma system
Author/Authors
Ya-Fen Wang، نويسنده , , Wen-Jhy Lee، نويسنده , , Chun-Yung Chen، نويسنده ,
Issue Information
ماهنامه با شماره پیاپی سال 1997
Pages
2
From page
279
To page
280
Keywords
Taguchi method , Chlorofluorocarbons , RF Plasma system , Reaction Mechanism
Journal title
Journal of Aerosol Science
Serial Year
1997
Journal title
Journal of Aerosol Science
Record number
734400
Link To Document