Title of article
Application of particle beam mass spectrometry to aerosol formation and transport in silane LPCVD
Author/Authors
S. Nijhawan، نويسنده , , N.P. Rao، نويسنده , , P.H. McMurry ، نويسنده , , S.A. Campbell ، نويسنده , , J.E. Brockmann، نويسنده ,
Issue Information
ماهنامه با شماره پیاپی سال 1998
Pages
2
From page
81
To page
82
Keywords
Thermophoresis , Silicon , contamination control , Semiconductor processing , chemical vapor deposition
Journal title
Journal of Aerosol Science
Serial Year
1998
Journal title
Journal of Aerosol Science
Record number
741350
Link To Document