Title of article :
Properties of Ta–Mo alloy gate electrode for n-MOSFET
Author/Authors :
CHUNG KEUN LEE?، نويسنده , , Jae Young Kim، نويسنده , , SHIN NAM HONG، نويسنده , , HUICAI ZHONG، نويسنده , , Xiao-Bei Chen، نويسنده , , Veena Misra، نويسنده ,
Issue Information :
دوهفته نامه با شماره پیاپی سال 2005
Pages :
3
From page :
2693
To page :
2695
Journal title :
Journal of Materials Science
Serial Year :
2005
Journal title :
Journal of Materials Science
Record number :
829859
Link To Document :
بازگشت