در فرآيند گام جهت دار، نفوذ سطحي يك اتم اضافه شده در يك ميدان الكتريكي غيريكنواخت تحقيق ميشود. ميدان الكتريكي يك نيروي راننده يي بر روي اتم اضافه شده توليد خواهد كرد. با استفاده از سرعت حركت و ميانگين مربع جابجايي ، قطبش پذيري و گشتاور دوقطبي سطح القايي ميتواند محاسبه گردد.