عنوان :
فرآيند اكسيداسيون در ساخت مدارهاي تجمعي سيليكون
پديدآورندگان :
قرباني شعبان رضا نويسنده , كشميري حسين نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه فردوسي مشهد، دانشكده علوم
كليدواژه زبان طبيعي :
بخش شيمي ، فيزيك , مدارهاي تجمعي , اكسيداسيون , سيليكون ها , برنامه هاي كامپيوتري , فرآيندها(صنايع )
چكيده :
با توجه به امكانات موجود، نتايج به دست آمده بسيار مثبت و رضايتبخش بوده است . براي انجام اكسيداسيون و تحقيق در زمينه آهنگ اكسيداسيون و تاثير دقيق عوامل مختلف بر روي آن احتياج به يك كوره اكسيداسيون مدرن دارد. كوره در دسترس براي اين پروژه ، فقط در يك دماي خاص (115 درجه سانتيگراد) كار مي كرد...
