عنوان :
شبيه سازي كامپيوتري فرايند انتقال و توزيع ذرات در لايه نشاني اسپاترينگ به روش مونت كارلو: مطالعه لايه هاي نازك سيستم ع /س ه
پديدآورندگان :
مشفق علي رضا نويسنده , صبوري دودران اميرعباس نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه صنعتي شريف ، دانشكده علوم فيزيك
كليدواژه زبان طبيعي :
ذره , فيلم نازك , سيستم اس .آي /سي .يو , بخش فيزيك , اسپاترينگ , شبيه سازي كامپيوتري , روش مونت كارلو
چكيده :
فرآيند اسپاترينگ يكي از فرآيندهاي سطح است كه در رشد لايه هاي نازك از اهميت خاصي برخوردار است با توجه به اهميت تكنولوژي لايه هاي نازك در صنايع ميكروالكترونيك و اپتيك بويژه رشد سيستمهاي چندلايه اي اقدام به شبيه سازي كامپيوتري فرآيند انتقال و توزيع ذرات اسپاتر شده از سطح ماده هدف به زيرلايه با استفاده از روش مونت كارلو نموده ايم . ...
