عنوان :
مطالعه اسپاترينگ بر روي عناصر واناديم ، كبالت مس ، تيوبيم ، موليبدن و تانتالم
پديدآورندگان :
مشفق عليرضا نويسنده , بهنام فر سعيد نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه صنعتي شريف ، دانشكده فيزيك
كليدواژه زبان طبيعي :
كبالت , نيوبيم , تانتال , مس , واناديم , فيلم نازك , بخش فيزيك , موليبدن , اسپاترينگ , تكنولوژي
چكيده :
در اين پروژه به بررسي كليه پارامترهايي كه در تكنيك اسپاترينگ )RF,DC( مطرح هستند، پرداخته مي شود. تاثير تغييرات انرژي ، زاويه برخورد و جرم اتمي يونهاي بمباران كننده (به ويژه يون )A+ در بهره اسپاترينگ و همچنين تاثير فشار گاز محيط (محفظه )، دانسيته توان تخليه و فاصله جدايي بين آند-كاند در نرخ لايه نشاني مواد هدف از جمله واناديم ، كبالت ، مس ، نيوبيم ، مولبيدن و تانتالم ، مورد مطالعه قرار مي گيرد. ...
