شماره ركورد :
20507
عنوان :
مطالعه عددي لايه نشاني بخار شيميايي كربيد سيلسيوم به كمك PECVD
پديدآورندگان :
ميلاني شيروان كامل نويسنده
نام دانشگاه :
سيستان و بلوچستان - دانشگاه سيستان و بلوچستان
محل تحصيل :
زاهدان
مقطع تحصيلي :
فوق ليسانس
نام دانشكده :
مهندسي
رشته :
مهندسي مكانيك
گرايش :
تبديل انرژي
تعداد صفحه :
2
سال انتشار :
1393/07/30
كليدواژه زبان طبيعي :
PECVD , لايه نشاني به كمك پلاسما , شبيه سازي , كربيد سيلسيوم , سيلسيوم گاز سيلان , گاز پروپان
زبان :
فارسي
لينک به اين مدرک :
https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=16&DC=20507
