عنوان :
بررسي خواص اليه‌هاي نازك TI تهيه شده به روش كندوپاش مگنتروني dc
پديدآورندگان :
خداكريمي صبا نويسنده , بيدادي، حسن‌فپرهيزگار، مجتبي نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه تبريز
كليدواژه زبان طبيعي :
لايه‌هاي نازك تيتانيوم , كندوپاش مگنتروني , خواص الكتريكي
چكيده :
... در اين كار تجربي اليه‌هاي نازكي از تيتانيوم با استفاده از دستگاه كندوپاش مكنتروني تحت شرايط متفاوت برروي زير اليه‌هاي شيشه‌اي تهيه و برخي از خواص فيزيكي الكتريكي ساختاري و مكانيكي آنها مورد بررسي قرار گرفته است. نتايج حاصل از خواص فيزيكي مانند خواص الكتريكي ساختاري و مكانيكي آنها مورد بررسي قرار گرفته است. نتايج حاصل نشان مي‌دهد كه مقاومت الكتريكي فيلم ها با افزايش توان و دماي زير اليه كاهش يفاته و با افزايش فشار پايه و فشار گاز كاري افزايش مي‌يابد...
