مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - فرآيند اكسيداسيون ساخت مدارهاي تجمعي سيليكون

چكيده :

با توجه به امكانات موجود، نتايج به دست آمده بسيار مثبت و رضايتبخش بوده است . براي انجام اكسيداسيون و تحقيق در زمينه آهنگ اكسيداسيون و تاثير دقيق عوامل مختلف برروي آن احتياج به يك كوره اكسيداسيون مردن دارد. كوره در دسترس براي اين پروژه ، فقط در يك دماي خاص (115 درجه سانتيگراد) كار مي كرد (براي دماهاي ديگر ضروري بود كه دما در تمام نقاط داخل كوره به منظور به دست آوردن نيمرخ دماي اكسيداسيون اندازه گيري شود، چون سيستم كنترل كوره دقيق بنود)، لذا نتوانستيم به طور تجربي تاثير تمام عوامل موثر را با نتايج حاصل از شبيه سازي مقايسه شده است (كه توافق خوبي بين آنها مشاهده مي شود). با توجه به اين كه سيستم هدايت و كنترل عوامل اكسيدكننده در كوره موجود در دانشگاه صنعتي شريف از اجزاء كوره اكسيداسيون بيرلك نبوده و در بخش مواد و ساخت قطعات الكترونيك جهاد دانشگاهي صنعتي شريف طراحي و ساخته شده است ، پيشنهاد مي شود كه با خريداري لوله كوارتز و ساخت سيستم هدايت و كنترل عوامل اكسيدكننده شكل (3-2-6) براي كوره موجود در دانشكده علوم دانشگاه مشهد، اين كوره راه اندازي و براي تحقيق در زمينه تاثير عوامل مختلف روي آهنگ اكسيداسيون (و آزمايشات مشابه ) مورد استفاده قرار گيرد. در ادامه تحقيق بر روي فرآيندها و ادغام فرآيند اكسيداسيون و فوتوليتوگرافي بر روي ويفرهاي اكسيد شده ، دريچه هاي لازم جهت وارد كردن ناخالصي به داخل سيليكون باز شود. لازم به ذكر است كه در مورد فرآيند فوتوليتوگرافي در آزمايشگاه تحقيقاتي ميكروالكترونيك (در بخش فيزيك ) تحقيقات مبسوطي صورت گرفته و تجربيات زيادي حاصل شده است .