مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - فرآيند ليتوگرافي در ساخت مدارهاي تجمعي سيليكون

چكيده :

فرآيند ليتوگرافي ، يكي از اساسي ترين و هزينه ترين مراحل در ساخت مدارهاي تجمعي است . در مقايسه با ساير فرآيندهاي ساخت مدارهاي تجسمي مثل : اكسيداسيون ، ناخالص سازي و فلزگذاري كه تحقيقاتي هم در زمينه شبيه سازي كامپيوتري اين فرآيندها و هم در زمينه آزمايش عملي آنها با تكنيكهاي موجود در كشور انجام پذيرفته است ، در مورد ليتوگرافي هيچ تحقيق سازمان يافته و مشخصي كه به جزييات اين فرآيند بپردازد، انجام نپذيرفته است . هدف ما در اين رساله گردآوري اطلاعات دقيق راجع به فرآيند ليتوگرافي و روشهاي عملي انجام آن مي باشد. در اين راستا سعي شده است كه تكنيكهايي كه بيشترين سازگاري را با تكنولوژي موجود در كشور دارند. به طور كامل مورد بررسي قرار گيرند و در انتهاي آزمايشات عملي كه با استفاده از تكنولوژي در دسترس انجام پذيرفته است و نتايج حاصله ذكر گرديده است . اميد داريم كه مجموعه حاضر بتواند به عنوان نقطه شروعي در تحقيقات گسترده تر بعدي مورد استفاده محققين و دانش پژوهان كشورمان قرار گيرد.