عنوان :
لايه گذاري در محيط پلاسما به روش D.C Magnetron Sputtering
پديدآورندگان :
داورپناه عبدالمحمود نويسنده , اهرابي محمدرحيم نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه تهران دانشكده علوم (فيزيك )
كليدواژه زبان طبيعي :
لايه گذاري , پلاسما , روش }D.C Magnetron Sputtering{ , بخش فيزيك
چكيده :
از هدايت يونهاي بوجود آمده در تخليه نوراني با جريان مستقيم براي پراكنش يك ماده معين استفاده مي شود sputterings Diode با اعمال ميدان مغناطيس در امتداد سطح كاتد الكترونها به جاي خط مستقيم به صورت دايره اي حرت خواهند كرد در نتيجه مسير حركتشان در پلاسما افزايش يافته و باعث يونيزاسيون اتمهاي بيشتري مي شود. ....
