عنوان :
بررسي تجربي فرآيند كندوپاش به روش تخليه افروخته با هدفهاي مسي و برنجي
پديدآورندگان :
رضايي محمد نويسنده , پورقاضي اعظم نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه اصفهان دانشكده علوم
كليدواژه زبان طبيعي :
برنج (فلز)}Brass{ , بخش فيزيك - گرايش حالت جامد كاربردي , كندوپاش (فيزيك )}Sputtering{ , تخليه افروخته }Glow discharge{ , مس }Copper{
چكيده :
تخليه افروخته يكي از روشهاي كندوپاش است كه براي ايجاد لايه هاي نازك از فلزات و نيمرساناهاي كم مقاومت به كار مي رود. در اين پروژه ، به صورت تجربي فرآيند كندوپاش به روش تخليه افروخته و با هدفهاي مسي و برنجي تحقيق مي شود و روابط حاكم بر آهنگ كندوپاش نسبت به تغييرات جريان الكتريكي و فشار گاز، در گستره اي خاص ، جستجو مي شود. ...
