عنوان :
رسوب گذاري شيميايي مواد از حالت بخار
پديدآورندگان :
راستكار محمدرضا نويسنده , بوشهري علي نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه شيراز، دانشكده مهندسي مواد
كليدواژه زبان طبيعي :
رسوب گذاري شيميايي , حالت بخار , بخش مهندسي مواد
دامنه موضوعي :
فني و مهندسي
چكيده :
پوشش دهي از حالت بخار بعنوان تكنيك مهمي در تحقيقات و صنعت كاربرد زيادي پيدا كرده است . رسوب گذاري از حالت بخار بسته باينكه بين بخار و رسوبي كه تشكيل مي شود چه شباهتها يا تفاوتهايي وجود داشته باشد به دودسته تقسيم مي شود: "رسوب گذاري شيميايي از حالت بخار )CVD( ." كه در مواردي است كه رسوب موردنظر از يك فعل و انفعال شيميايي مثل تجزيه يك تركيب شيميايي بدست آيد و "رسوب گذاري فيزيكي از حالت بخار" به مواردي گفته مي شود كه رسوب موردنظر از حالت بخار اتمي عنصر يا عناصر تشكيل دهنده آن بوجود بيايد. فرآيندهاي رسوب گذاري از حالت بخار بسيار متنوعند، چنانكه بوسيله آنهاانواع پوششها، پودروها، شكلها و وسايل مختلفي را ميتوان بوجود آورد. در هر دو حالت رسوب گذاري شيميايي و فيزيكي بخارهاي مورد نياز بايد از سطح جامد يا مايعي متصاعد شده و سپس به سمت زمينه هايي منتقل شوند كه در آنجا رسوب ميكنند يا تجزيه ميشوند. در اين تحقيق بحث اساسي بر روي فرآيندهاي رسوب گذاري شيميايي از حالت بخاري است كه رسوب سيليكون برروي ويفرهاي (ورقه هاي تك كريستالي سيليكون ) سيليكوني و پوششهاي مقاوم به سايشي مانند سيليكونيزه و كربوريزه كردن را انجام ميدهد....
