مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - اندازه گيري آهنگ لايه نشاني در فيلم هاي نازك تيتانيوم تهيه شده به روش كندوپاش پلاسمايي

چكيده :

مفيد بودن خصوصيات لايه هاي نازك و جالب توجه بودن مطالعه به روي رفتار جامدهاي دوبعدي باعث شده كه چه از نظر عملي و چه از نظر تكنولوژي به لايه هاي نازك توجه ويژه اي شود. امروزه لايه هاي نازك در ساخت وسايل نوري ، الكترونيكي ، والكترواپتيكي ، آينه هاي ليزر، قطعات آكوستيكي و پوشش هاي محافظتي نقش اساسي دارند. يكي از موارد كاربرد لايه هاي نازك در تهيه شيشه هاي رفلكس است . اين شيشه ها اين شيشه ها علاوه بر زيبايي ، عايق گرما بوده و همچنين منعكس كننده نور فرابنفش ، مادون قرمز و حتي مريي ميباشند كه بستگي به نوع ماده نهشته شده و ضخامت آن دارد. اين شيشه ها با نشاندن يك يا چندين نوع پوشش از فلزات خاص و يا اكسيد آنها تهيه مي شود. در اين كار تجربي Ti به روي شيشه نشانده شده و تغيير آهنگ نهشت فيلم با فاصله كاتد و زيرلايه و همين طور فشار در سه حالت مختلف با منافع تغذيه DC و RF بطور جداگانه و با هم بررسي شده است . مقايسه نتايج تجربي حاصله نشان مي دهند كه آهنگ نهشت متناسب با يك تقسيم بر d در حالات مختلف ذكر شده در بالاست . در فشارهاي بالاتر آهنگ نهشت به خاطر پراكنگي اتم هاي كندوپاشي با مولكول هاي گاز باقيمانده ، كاهش مي يابد...