69036

بررسي بعضي خواص مكانيكي ، فرسايش و استرس لايه نازك نيتريدتيتانيوم TiN

اكبري ابوالفضل نويسنده , خانلري محمدرضا نويسنده

دانشگاه بين المللي امام خميني (ره )

كارشناسي ارشد

0

1385

خواص مكانيكي فرسايش استرس لايه نازك نيتريدتيتانيوم }TiN{ فيزيك رده علوم پايه

در اين تحقيق ما به مطالعه اثر پارامتر ساخت ، فشار جزيي نيتروژن ، بر روي خواص مكانيكي از جمله تنش و رسانندگي الكتريكي فيلمهاي نازك نيتريد تيتانيوم TiN پرداختيم . فيلمها با استفاده از روش آبكاري يوني با تخليه كاتد توخالي )HCD-IP( در فشار mPa 50 و با آهنگ رشد nm/s 37، 0 به ضخامت تقريبي qm 1 رشد داده شدند. فيلمها بر روي زيرلايه هاي لام شيشه اي معمولي براي آناليز XRD ، لام شيشه اي به ضخامت mm 14, 0 براي اندازه گيري تنش و زيرلايه فولادي براي آناليز FT-IR ، در دماي 380 درجه سانتيگراد لايه نشاني شدند. تنش فيلمها با استفاده از يك روش ابداعي مكانيكي اندازه گيري شد، كه كمترين تنش در فيلم ساخته شده در فشار جزيي نيتروژن mPa 4، به مقدار GPa 126, 0 در راستاي طولي و GPa 14, 2 در راستاي عرضي اندازه گيري شد...

دانشگاه بين المللي امام خميني (ره )

فارسي