عنوان :
روشهاي سنجش لايه نازك ، ساختارشناسي و مكانيزم تشكيل
پديدآورندگان :
مرادي محمود نويسنده , طباطبايي فرد محمود نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه شيراز
كليدواژه زبان طبيعي :
لايه نازك پارامترهاي سطح دي اكسيد تيتانيم ويفرسيليكون فيزيك رده علوم پايه
چكيده :
در اين پايان نامه پس از تشريح روشهاي مختلف فيزيكي و شيميايي لايه نشاني و بررسي ويژگيهاي هر كدام ، به توضيح شرايط مواجهه اتم با سطح ، مكانيزم شكل گيري لايه هاي نازك و نحوه رشد آنها به همراه تيوريهاي مختلف رشد مي پردازيم . سپس روشهاي آناليز و سنجش لايه هاي نازك از جمله انواع ميكروسكوپهاي SEM ، STM و AFM ، روشهاي پراش الكترون كم انرژي و پرانرژي ، پراش پرتو X و طيف نگاري ، الكترون اوژه را بيان كرده و بعد از آن به بررسي خصوصيات نمونه هاي عملي لايه نشاني شده ، شامل زير لايه ويفرسيليكون ، Si)111( ، و لايه دي اكسيد تينانيم ، Tio2 ، بر روي آن ، اقدام مي نماييم و درباره ويژگيها و كاربردهاي متنوع فيزيكي ، شيميايي و الكترونيكي آن بحث مي كنيم ...
