عنوان :
بررسي تجربي آهنگ لايه نشاني براي دو هدف مختلف مس و آلومينيوم در فشارهاي مختلف و درصدهاي مختلف تركيب آرگون در يك پلاسماي نيون و توجيه نظري برحسب نظريه كندوپاش
پديدآورندگان :
سبحانيان صمد نويسنده , خاكسار مريم‌سادات نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه تبريز
كليدواژه زبان طبيعي :
كندوپاش مگنتروني لايه نشاني يا نهشت تخليه نوراني افت كاتدي فيزيك رده علوم پايه
چكيده :
... در اين كار تجربي فلزات Al , CU به صورت فيلم نازك با استفاده از كندوپاش مگنتروني به روي بستر شيشه اي نشانده شده و تغيير آهنگ نهشت فيلم با فشار و درصدهاي مختلف تركيب گازآرگون در يك پلاسماي نيون براي دو حالت مختلف با مانع تغذيه DC و RF به طور جداگانه بررسي شده است . مقايسه نتايج تجربي حاصله نشان مي دهد. كه آهنگ نهشت با افزايش درصد آرگون افزايش مي يابد. همچنين در فشارهاي بالاتر آهنگ نهشت به دليل پراكندگي اتم هاي كندوپاشي با مولكول هاي گاز باقيمانده كاهش مي يابد همچنين مقايسه نتايج تجربي با نتايج نظري براساس تيوري سيگموند نشان مي دهد كه اين دو نتيجه با هم تطابق دارند. در ارتباط با تاثير تغييرات فشار برآهنگ لايه نشاني نيز انطباق نتايج تجربي و نظري مشاهده مي شود...
