عنوان :
اندازه گيري طول همبستگي ناهمواريهاي سطح به روش تداخل سنجي تمام نگاري
پديدآورندگان :
توسلي محمدتقي نويسنده , نوين مرضيه نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه زنجان ، مركز تحصيلات تكميلي در علوم پايه
كليدواژه زبان طبيعي :
طول همبستگي ناهمواريهاي سطح , تداخل سنجي , تمام نگاري , بخش فيزيك
چكيده :
در قطعات مكانيكي و ميكروالكترونيكي براي داشتن دقت بالا لازم مي آيد كه ناهمواري هاي سطح قطعات كمتر از طول موج نور مريي باشد. لذا مطالعه اين ناهمواريها ضروري است . ناهمواريهاي هر سطحي با دو پارامتر طول همبستگي و جذر ميانگين مربعي ارتفاع مشخص مي شود. هر چه طول همبستگي بزرگتر و جذر ميانگين مربعي ارتفاع كوچكتر باشد، سطح صافتر است ...
