عنوان :
بررسي خواص لايه هاي نازك TI تهيه شده به روش كندوپاش مگنتروني dc
پديدآورندگان :
خداكريمي صبا نويسنده , بيدادي، حسن‌فپرهيزگار، مجتبي نويسنده
نام دانشگاه :
دانشگاه تبريز
كليدواژه زبان طبيعي :
لايه هاي نازك تيتانيوم كندوپاش مگنتروني خواص الكتريكي چسبندگي فيزيك رده علوم پايه
چكيده :
... در اين كار تجربي لايه هاي نازكي از تيتانيوم با استفاده از دستگاه كندوپاش مكنتروني تحت شرايط متفاوت برروي زير لايه هاي شيشه اي تهيه و برخي از خواص فيزيكي الكتريكي ساختاري و مكانيكي آنها مورد بررسي قرار گرفته است . نتايج حاصل از خواص فيزيكي مانند خواص الكتريكي ساختاري و مكانيكي آنها مورد بررسي قرار گرفته است . نتايج حاصل نشان مي دهد كه مقاومت الكتريكي فيلم ها با افزايش توان و دماي زير لايه كاهش يفاته و با افزايش فشار پايه و فشار گاز كاري افزايش مي يابد...
