Title :
INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ETCHING OF III-N SEMICONDUCTORS
Author :
Robert Nemanich استاد مشاور , Griff Bilbro استاد مشاور , Robert Davis استاد راهنما , Robert Davis استاد مشاور
University :
Virginia Polytechnic Institute and state University
Major :
PhD )Materials Science and Engineering(
Keyword :
Gallium nitride , GaN , ICP
