DocumentCode :
14370
Title :
Ru-based Gate Electrodes for Advanced Dual-Metal Gate CMOS Devices
Author :
V. Misra استاد راهنما , C. M. Osburn استاد مشاور , G. Lucovsky استاد مشاور , G. Parsons استاد مشاور
University :
Virginia Polytechnic Institute and state University
Grade :
نامعلوم
Major :
PhD )Electrical Engineering(
Number of pages :
0
Publish Date :
2001
Keyword :
Alloy , CMOS , gate electrode , Metal , Ruthenium
Note :
01
Language :
انگليسي
Link To Document :
https://search.ricest.ac.ir/dl/search/defaultta.aspx?DTC=17&DC=14370
بازگشت