DocumentCode :
17596
Title :
Surface Micromachined Peristaltic Pumps Using Lead Zirconate Titanate Film
Author :
Srinivas Tadigadapa استاد مشاور , Clive A. Randall استاد مشاور , Susan Trolier-McKinstry استاد راهنما
University :
Pennsylvania State University
Grade :
نامعلوم
Major :
PhD )Dissertation(
Number of pages :
0
Publish Date :
2003
Keyword :
interdigitated electrode , diaphragm actuator , micropump , PZT , MEMS , surface micromachining
Note :
01
Language :
انگليسي
Link To Document :
بازگشت