عنوان :
طراحي و نصب قطعات اندازه گيري ضخامت و ضريب شكست لايه هاي نازك
محل نشر :
سيستان و بلوچستان
ناشر :
دانشگاه سيستان و بلوچستان ، معاونت پژوهشي
كليدواژه :
طراحي , نصب قطعات اندازه گيري ضخامت , ضريب شكست لايه هاي نازك
چكيده :
طراحي و نصب قطعات اندازه گيري ضخامت و ضريب شكست لايه هاي نازك به طور همزمان و تحقيق درباره وابستگي ضريب شكست لايه به ضخامت لايه ضخامت ، ضريب شكست و آهنگ لايه نشاني ، از مهمترين پارامترهاي لايه هاي نازك ، به شمار مي رود، از طرفي خواص نوري -مكانيكي ، الكترونيكي و... لايه هاي نازك به عواملي از جمله ، شرايط لايه نشاني ، آهنگ لايه نشاني و... بستگي دارد و با خواص ماده لايه نشاني متفاوت است . بنابراين اندازه گيري ضخامت و خواص لايه براي كنترل خواص لايه بسيار مهم و تعيين كننده است ...
